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期刊论文
耐高温多晶硅应设计
耐高温多晶硅应设计
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lizhigang3637
【摘 要】
:
介绍了一种适用于特殊环境进行高温测量的多晶硅应变计的原理,设计,制作工艺及粘贴方法,它的特点是耐高温(可用在温度达250℃的环境中),体积小,安装方便,该种主尖变计已用于检测电站
【作 者】
:
孙凤玲
田雷
等
【机 构】
:
信息产业电子第四十研究所
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
多晶硅
应变计
粘接
传感器
polysilicon
straingage
bonding
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介绍了一种适用于特殊环境进行高温测量的多晶硅应变计的原理,设计,制作工艺及粘贴方法,它的特点是耐高温(可用在温度达250℃的环境中),体积小,安装方便,该种主尖变计已用于检测电站锅炉焊缝的牢固程序,在实际应用中性能较好。
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