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微波CVD法在硬质合金工具表面合成金刚石薄膜的研究
微波CVD法在硬质合金工具表面合成金刚石薄膜的研究
来源 :兵工学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:felixzhu2005
【摘 要】
:
采用微波CVD法对硬质合金表面金刚石的形核和金刚石薄膜的沉积进行了探索性研究,用激光喇曼谱仪对金刚石进行表征。研究了在硬质合金工具衬底沉积金刚石薄膜的结合强度。
【作 者】
:
李成明
吕反修
【机 构】
:
太原工业大学,北京科技大学
【出 处】
:
兵工学报
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
微波CVD
硬质合金
金刚石薄膜
microwave CVD
hard alloy
diamond films
adhesion
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采用微波CVD法对硬质合金表面金刚石的形核和金刚石薄膜的沉积进行了探索性研究,用激光喇曼谱仪对金刚石进行表征。研究了在硬质合金工具衬底沉积金刚石薄膜的结合强度。
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