【摘 要】
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为了提高阻挡层化学机械抛光(CMP)的去除速率选择比,提出一种添加剂二乙烯三胺五乙酸五钾(DTPA-5K),研究它在含双氧水(H2O2)的抛光液中对材料去除速率的影响,并通过X射线光电
【机 构】
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河北工业大学电子信息工程学院,天津市电子材料与器件重点实验室
【基金项目】
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国家科技重大专项(02专项)(2016ZX02301003-004_007),天津市自然科学基金(16JCYBJC16100,18JCTPJC57000)
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为了提高阻挡层化学机械抛光(CMP)的去除速率选择比,提出一种添加剂二乙烯三胺五乙酸五钾(DTPA-5K),研究它在含双氧水(H2O2)的抛光液中对材料去除速率的影响,并通过X射线光电子能谱(XPS)和离子间的相互作用分析了相关去除机理。结果表明:DTPA-5K既可作为铜(Cu)的络合剂,同时也可作为介质(TEOS)促进剂,显著地提高两种材料的去除速率。此外,抑制剂1,2,4-三氮唑(TAZ)的引入抑制了铜的去除速率而对介质无影响,进而提高了速率选择比。使用优化后的抛光液抛光后,介质和铜去除速率分别达到了
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