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以正硅酸四乙酯(TEOS)为原料采用Stober法制备了单分散、粒径分布均匀、平均直径范围在250～800 nm的纳米二氧化硅微球.通过SEM和XRD表征手段,探讨了水、TEOS和氨水用量对SiO2形貌和粒径的影响.结果表明,添加适量的水会得到粒径较大、均匀且分散性好的SiO2微球；随氨水和TEOS用量增多,SiO2粒径增加；若氨水用量太少,则得到粒径虽小但圆度差、表面不光滑的SiO2.