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分析并模拟了SOINMOSFET的电源电压、工艺参数、沟道长度等对器件内部电场的影响,并对器件的低压热载流子效应进行实验测试,得到了不同应力条件下最大线性区跨导和阈值电压的退化结果,以及器件尺寸对这种退化的影响.并实验测试了一个SOINMOS器件电流电压特性的应力退化.
深亚微米NMOS／SOI热载流子效应及寿命预测
【摘 要】
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分析并模拟了SOINMOSFET的电源电压、工艺参数、沟道长度等对器件内部电场的影响,并对器件的低压热载流子效应进行实验测试,得到了不同应力条件下最大线性区跨导和阈值电压的
【机 构】
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浙江工业大学信息学院
【出 处】
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浙江工业大学学报
【发表日期】
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2003年2期
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