【摘 要】
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在现代功率器件中,为了提高功率器件的击穿电压,降低导通电阻,超结结构得到广泛的应用。为了降低器件工作时的导通电阻,增大电流的流经面积,降低J-FET效应,在功率器件的制造
【机 构】
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在现代功率器件中,为了提高功率器件的击穿电压,降低导通电阻,超结结构得到广泛的应用。为了降低器件工作时的导通电阻,增大电流的流经面积,降低J-FET效应,在功率器件的制造生产中,超结区中相互交叠的P柱和N柱,它们的掺杂浓度和设计尺寸并不能做到完全的相同。所以,当P柱或N柱的尺寸改变后,如果不进行超结区中N柱和P柱的掺杂浓度进行修正,将会导致超结区中出现大量的不平衡电荷,这些不平衡电荷将会严重影响超结的性能。本文在现有的结论下,以对称非理想超结为基础,提出一种对超结区内梯形PN柱掺杂浓度的修正方法,并针对这
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