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采用无机盐-螯合-溶胶凝胶法成功制备了BiFeO3薄膜。研究了不同基片、热处理工艺对薄膜相结构的影响。通过DTA-TG与FT IR对溶胶前躯体进行表征，分析了BiFeO3溶胶与薄膜过程机理并确定了铁电相转变温度为856℃。通过XRD、SEM分析了薄膜的晶相及表面形貌。结果表明，薄膜呈随机取向，氮气环境中退火可提高薄膜结晶度。600℃退火下薄膜厚度平均是400nm左右。VSM表明随着退火温度的增加，BiFeO3薄膜的磁化率增大。