【摘 要】
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为解决光学系统中普遍存在的菲涅耳反射问题，利用严格耦合波法设计、分析了一种三维轮廓亚波长结构，然后把计算结果同多层反射膜的增透特性进行了比较，结果表明该结构在很宽的波
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,ChangchunInstituteofOptics
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为解决光学系统中普遍存在的菲涅耳反射问题，利用严格耦合波法设计、分析了一种三维轮廓亚波长结构，然后把计算结果同多层反射膜的增透特性进行了比较，结果表明该结构在很宽的波段上尤其是远红外波段上的抗反射特性要远远好于多层膜，其反射率基本上能控制在0.2%以内；并且这种结构反射率的变化随入射光波入射角的偏离在40°以内能保持在1%以下，而多层膜只能在30°以内勉强做到这一点。
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