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理论分析了CCD的非线性对傅立叶变换轮廓术（FTP）的影响，推出了基频与本周期的高级频谱以及基频与相邻“频谱岛”的高级频谱分离的条件，由此得出了抽样对CCD的非线性引起的频谱混叠的影响。从理论分析和推导过程看出：抽样条件不满足时，基频与本周期的高级频谱或相邻“频谱岛”中的高级频谱（主要是二级、三级频谱）发生混叠；抽样条件满足时，基频与它们发生分离；增大抽样频率，可以提高测量的精度。实验结果表明了理论分析和推导过程的正确性。