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本文用ＸＲＤ、ＳＥＭ等分析手段，对用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法制备的Ｇｅｌ膜在不同热２条件下处理后的ＫＴＮ薄膜进行分析，发现热处理的气氛、升降温速率、烧结温度对薄膜的结构和形貌影响很大，并对其的影响进行分析讨论。在合适的热处理条件下，在ＳｒＴｉＯ２（１００，１１１）衬底上制备出了高取向、晶粒大小均匀、排列紧紧、纯钙钛矿结构的ＫＴＮ薄膜。