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The effect of substrate holder size on the electric field and discharge plasma on diamond-film forma
The effect of substrate holder size on the electric field and discharge plasma on diamond-film forma
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:adonis77
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
Kang AN
Liangxian CHEN
Jinlong LIU
Yun ZHAO
Xiongbo YAN
Chenyi HUA
Jianchao GUO
Junjun WEI
Lifu HEI
Chengming LI
Fanxiu LU
【机 构】
:
Institute of Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijin
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2017年9期
【关键词】
:
MPCVD
marginal discharge
diamond film
deposition rate
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本文通过对荣华二采区10<
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