【摘 要】
：
利用电子回旋共振(ECR)微波等离子体辅助化学气相沉积技术、工作气氛为丙酮,在光学玻璃衬底上得到了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜.在工艺研究中,对等离子体中氧的存在及其
【机 构】
：
中国科学院物理研究所,石油大学(北京)材料科学与工程系
论文部分内容阅读
利用电子回旋共振(ECR)微波等离子体辅助化学气相沉积技术、工作气氛为丙酮,在光学玻璃衬底上得到了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜.在工艺研究中,对等离子体中氧的存在及其作用进行了分析.原子力显微镜分析表明,薄膜的表面粗糙度小于10nm,晶粒尺寸约为100nm.拉曼光谱和中红吸收谱研究发现,薄膜具有强烈的荧光效应,含有sp1,sp2,sp3杂化C-C, sp3杂化CH3,羰基CO、含氧多元环以及-COOH基等.利用纳米力学探针以及近红区红外透射谱分析了薄膜的力学及光学性能,结果表明,薄膜的显微硬度接近4GPa,体弹性模量约为11GPa;薄膜在近红区完全没有吸收峰,折射系数为1.576;根据薄膜干涉花样,计算薄膜的沉积速率为460nm/h.
其他文献
心肌细胞凋亡是目前学术界十分关注的热点问题,它是心肌缺血缺氧、心肌缺血再灌注损伤、病毒性心肌炎、高血压、心肌梗死等众多心脏疾病的重要的病理生理机制,而心肌细胞的凋
目的:探讨草原龙胆花发育的分子机制,为进一步阐述花器官同源异型、属于MADS-box基因家族的一系列基因在调节开花植物花瓣和雄蕊的发育中的作用奠定基础.方法:以草原龙胆不同
在实验动物的管理工作中,国家先后出台了实验动物的相关标准、规章制度、操作规程等,但很少对地方的实验动物管理机构做出要求,而只是原则提出:国家科技部主管全国实验动物工
采用PCR-SSCP方法对莱芜猪(127头)和沂蒙黑猪(132头)的胰岛素样生长因子-I(IGF-I)基因exon3和exon4分别进行单核苷酸多态性分析.发现exon3上有多态性,且存在3种基因型(AA、AB
随着社会主义市场经济的不断完善,建筑工程建设日益成为经济建设的重点工程项目,然而建筑工程造价管理是一项极其复杂的工作,建筑施工企业如何以建筑工程造价管理为中心,在保
The proteins encoded by the Herpesviridae β-gene play a critical role in the replication stage of the virus. In this paper, phylogenetic analyses provided evid
从美国引进6个不同种源地的北美香柏种子,选用先进的穴盘育苗技术,在上海地区进行种源、播种时期和覆盖材料等对比试验。试验结果表明:不同种源地的种子在发芽率方面,出苗始
阐述了以表述信息演化规律的信息(熵)演化方程为核心的非平衡统计信息理论.推导出了 Shannon信息(熵)的非线性演化方程,引入了统计物理信息并推导出了它的非线性演化方程.这
通过采用数字仿真手段,研究了经平均场处理的Ising自旋体系在弱确定性周期外场和随机外场(噪声场)混合驱动下的动态响应行为.着重考察了不同强度混合驱动外场作用下,Ising自