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阐述半导体制造过程中的重要设备气体纯化器的发展背景,气体纯化设备的国产化替代历程,存在的问题和应对的策略,从而适应集成电路产业的发展步伐.
集成电路制造装备中的气体纯化器应用
【摘 要】
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阐述半导体制造过程中的重要设备气体纯化器的发展背景,气体纯化设备的国产化替代历程,存在的问题和应对的策略,从而适应集成电路产业的发展步伐.
【机 构】
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大连华邦化学有限公司,辽宁 116085
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2022年2期
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