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静电驱动MEMS柔性结构的变形分析与试验验证

来源 :机械设计 | 被引量 : 0次 | 上传用户：maomao68

【作 者】

：

刘庆玲  王梓翰  于常娟 

【出 处】

：

机械设计

【发表日期】

：

2018年02期

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