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为提高图像测量系统的精度,提出了一种由模糊控制与图像处理技术实现的自动聚焦方法。通过线性拟合与同态滤波滤除噪声后,用改进的梯度平方函数作为聚焦评价函数,提高了聚焦灵敏度;运用模糊控制技术改换搜索方式,实现了实时自适应变步长搜索,保证系统快速准确聚焦。实验结果表明,该聚焦方法具有单峰性,响应快,鲁棒性强,在±100μm范围内自动搜索,定位时间小于2″,聚焦不确定度达±1μm。