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本文报道了1.06μm 激光对TiO2、ZrO2和Ti3O5的单层膜和多层膜的损伤阈值和损伤形貌.研究了损伤阈值与膜厚、缺陷和保护膜之间的关系.
10.6μm激光对钛、锆光学薄膜的损伤
【摘 要】
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本文报道了1.06μm 激光对TiO2、ZrO2和Ti3O5的单层膜和多层膜的损伤阈值和损伤形貌.研究了损伤阈值与膜厚、缺陷和保护膜之间的关系.
【机 构】
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中国科学院上海光机所
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1989年16期
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