激光束斑点尺寸对汽相光淀积率的影响

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yy20090907
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本文研究了汽相光淀积率对激光束斑点尺寸的依赖关系。结果表明,在激光功率保持不变时,如果淀积是由汽相分解引起,汽相光淀积率反比于束斑点尺寸ω0。对汽相和物理吸附相混杂的光淀积,引入在激光束中心处的两种情况的淀积率此,即识别因子 r 和单分子层反应汽相和物理吸附相光吸收比,即励激因子 Ep,就能够区分汽相和物理吸附相光淀积各自发生的斑点尺寸范围ω0。以上理论由Krchnavek 等人的光淀积实验得到验证。
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