【摘 要】
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针对高铁、飞机等高速运行设施对动态压力监测提出的要求,研制了一种压阻式微电子机械系统(MEMS)超薄动态压力传感器。采用有限元分析(FEA)软件ANSYS对5种压力传感器芯片结构
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,空军驻石家庄地区军事代表室,
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针对高铁、飞机等高速运行设施对动态压力监测提出的要求,研制了一种压阻式微电子机械系统(MEMS)超薄动态压力传感器。采用有限元分析(FEA)软件ANSYS对5种压力传感器芯片结构进行了仿真对比分析,结合MEMS加工工艺,设计的传感器芯片采用线性好、灵敏度高、固有频率高的单岛膜结构。利用硅通孔(TSV)技术对传感器抗冲击、防水、可靠性等性能进行了优化设计,采用硅微MEMS工艺加工了动态压力传感器芯片,并完成了传感器的超薄封装,最终厚度为0.9~1 mm。对传感器的基本性能、耐冲击、防水特性进行了测试,结果表明传感器的基本性能良好,非线性度为0.076%满量程输出(FSO),灵敏度为0.23 mV/kPa/V,非重复性为0.041%FSO,并且可抗20 000g冲击,达到5级防水。
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