薄膜元件基底断点划痕的激光辐照效应

来源 :中国科学:技术科学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pengyechao
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建立了断点划痕的正棱锥模型,在355 nm激光辐照下,用三维时域有限差分法研究了熔石英后表面具有不同棱角的断点划痕对场分布的调制作用.结果表明,电场强区分布在棱边一侧,深度在亚表面层2λ内.相同情况下,边边相对,比角角相对和边角相对具有更大的调制强度.随着棱角数目的增多,需要更大的坑点间距才能获得调制最大值.研究表明这类划痕诱导的最大电场幅值为入射波的3.70倍,可采用酸蚀或者CO_2激光辐照钝化棱角的方法来减小调制. A regular pyramid model with breakpoint scratches was established and the modulation effect of breakpoint scratches with different corners on the rear surface of fused silica was studied by using the three-dimensional finite difference time-domain method under the laser irradiation of 355 nm.The results show that the electric field The strong regions are located on the edge of the edge and have a depth in the subsurface layer of 2λ. In the same case, the edges are opposite, the relative angles are relative and the corners have a greater modulation strength. As the number of corners increases, The maximum electric field induced by this kind of scratches is 3.70 times of the incident wave, and the modulation can be reduced by using acid etching or CO2 laser to passivate the corners.
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