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随着ＶＬＳＩ向深亚微米发展，需要快速而精确地计算互连寄生电容以保证高性能电路设计的正确性，本文介绍一个单介质准三维电容提取软件。在位势理论建立的间接边界积分方程中，它在导体表面采用线电荷近似面电荷的思想简化３－Ｄ结构，并采用多极加速法进一步降低计算复杂度。由于既保留了三维形体的空间架构，又使大量电荷积分降为一维，取得了精度与速度的良好平衡，数值计算结果表明，其计算复杂性为Ｏ（ｎ），ｎ为边界元数。