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与传统的压电传感器相比,电容式微加工超声传感器(cMUT)性能优良,有着广泛的应用前景.为此,介绍了cMUT的基本结构和工作原理,并提出了一种新型结构.利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行模态分析,得到其共振频率和一阶振动图;利用ANSYS的耦合场分析模块和参数化设计语言(APDL),对结构进行力电耦合仿真,获得其直流偏压和作为发射器时所需的交流电压值.分析结果表明,所设计的结构符合设计要求.