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文章从气相沉积法的分类入手,对各种方法发展中的优缺点进行比较,指出了当前金刚石薄膜研究中存在的问题和未来发展方向。
气相沉积法金刚石膜合成概论
【摘 要】
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文章从气相沉积法的分类入手,对各种方法发展中的优缺点进行比较,指出了当前金刚石薄膜研究中存在的问题和未来发展方向。
【出 处】
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河南工业大学学报：社会科学版
【发表日期】
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1997年2期
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