MOEMS静电旋转结构的Pull-in现象分析

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：z46810560

【摘要】

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对MOEMS静电旋转结构的Pull-in(吸合)现象进行了理论分析,重点研究了平板电极旋转结构和摆动梳齿旋转结构.摆动梳齿旋转结构不出现Pull-in现象的原因是电容变化率为恒值;平板

【作者】

：

岳宁煜万江文

【机构】

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北京邮电大学

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2004年11期

【关键词】

：

旋转结构 MOEMS 小电容变化率静电电极驱动器平板现象分析稳态 MOEMS rotation-actuator parallel-plate s

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对MOEMS静电旋转结构的Pull-in(吸合)现象进行了理论分析,重点研究了平板电极旋转结构和摆动梳齿旋转结构.摆动梳齿旋转结构不出现Pull-in现象的原因是电容变化率为恒值;平板电极旋转结构在电极旋转过程中电容变化率持续增大是Pull-in现象出现的根本原因,设计平板电极旋转驱动器时,如果需要得到较大的稳态旋转角度,可以通过合适的结构参数减小电容变化率的变化速率.

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