【摘 要】
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基于半导体图像传感器CCD的物理图像和相应的基本特性微分方程组,经过离散和线性化处理,并引用解三对角矩阵方程的递归算法,实现了其解析模型求解.据此及其相关的编程软件,对
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基于半导体图像传感器CCD的物理图像和相应的基本特性微分方程组,经过离散和线性化处理,并引用解三对角矩阵方程的递归算法,实现了其解析模型求解.据此及其相关的编程软件,对电注入埋沟CCD器件进行了仿真测试.结果表明,随着栅长减小、栅间隙长度增加和沟道深度减小,传输栅电荷容量约从6.5×106下降到6.1×106电子电荷,转移效率从96%增高到99%.同时,暗电流只与少子寿命密切相关,转移效率对栅间隙长度在1 μm以内的变化不敏感.该理论模拟结果有助于BCCD模型参数提取和设计研究.
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