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介绍了1984年至1990年期间干式排气技术所取得的进展情况。干式排气泵研制方面日本处于世界领先地位。在解决了粉尘、腐蚀性蒸气以及泵内残存物的抽除等问题之后,干气排气技术被认为是在半导休工业中最有用的排气技术之一。介绍了在半导体工业中的应用情况,也介绍了在特种排气工艺中的应用。
干式排气的进展
【摘 要】
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介绍了1984年至1990年期间干式排气技术所取得的进展情况。干式排气泵研制方面日本处于世界领先地位。在解决了粉尘、腐蚀性蒸气以及泵内残存物的抽除等问题之后,干气排气技
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1992年4期
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