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针对波导全息平视器中一种新型的耦合光栅结构，基于严格耦合波理论数值分析了其衍射特性，同时对光栅的工艺容差进行了分析，计算了膜厚、槽深、周期与入射波长对耦合效率的影响。该光栅以波导板中内嵌的闪耀光栅锯齿面作基底，镀高折射率的膜层后，覆盖锯齿状的金属膜层。计算结果表明：对于波长532,nm 的 TE 偏振光，空气中0＆#176;入射的一级衍射效率可大于90%；当空气中入射光的纵向角在[-8＆#176;，12＆#176;]、横向角在[-15＆#176;，15＆#176;]内变化时，一级衍射效率可大于82%且保持