【摘 要】
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<正> 目前,国内一些量具厂家引进瑞士Trimos公司的散件组装的电子数显卡尺中使用了容栅传感器。该传感器所输出的信号是一移相信号。本文从该传感器的基本结构出发,对其输出
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<正> 目前,国内一些量具厂家引进瑞士Trimos公司的散件组装的电子数显卡尺中使用了容栅传感器。该传感器所输出的信号是一移相信号。本文从该传感器的基本结构出发,对其输出的函数表达式进行了推导,并对其静态和动态特性进行了分析,以供广泛应用该项传感技术时参考。该传感器的48个发射极分成6组,每组各有8个发射极板e_i与定尺上反射极板F的一个节距W相对应。因各组中i相同的e_i与F的相对位置相同,故可将48个e_i和对应的6个F间的电容器简化为容量为c_1(x)～C_8(x)的8个电容器。每个电容
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