Mo-Re合金薄膜的辐照效应研究

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【摘要】

：

使用离子注入技术,将200 keV氤离子注入到Mo-Re合金薄膜中,实现对薄膜的表面选区辐照改性.该薄膜的合金成分用X射线荧光光谱(XRF)测出.利用白光干涉表面形貌仪,测量了辐照区

【作者】

：

胡殷李正操盛国福张政军

【机构】

：

清华大学

【出处】

：

原子能科学技术

【发表日期】

：

2007年z1期

【关键词】

：

Mo-Re合金 Re效应辐照损伤溅射深度

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使用离子注入技术,将200 keV氤离子注入到Mo-Re合金薄膜中,实现对薄膜的表面选区辐照改性.该薄膜的合金成分用X射线荧光光谱(XRF)测出.利用白光干涉表面形貌仪,测量了辐照区的溅射刻蚀深度和表面粗糙度,评价了合金成分对薄膜辐照行为的影响.结果表明:适量Re的加入能够显著提高合金薄膜的抗溅射能力.

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