【摘 要】
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通过分析全球电子化学品(含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶)生产技术相关专利的申请态势,研究电子化学品生产技术的发展全貌,并分别对含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶技术的成熟度进行分析。重点分析了全球电子化学品领先企业的技术布局,并提出了我国今后的发展建议。
【基金项目】
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中国工程科技知识中心建设项目(CKCEST-2021-1-3);
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通过分析全球电子化学品(含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶)生产技术相关专利的申请态势,研究电子化学品生产技术的发展全貌,并分别对含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶技术的成熟度进行分析。重点分析了全球电子化学品领先企业的技术布局,并提出了我国今后的发展建议。
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