激光图形发生器调焦系统设计

来源 :光电子．激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：itismewhq

【摘要】

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为提高激光图形发生器的线条制作精度和制作效率,设计了新的调焦系统.调焦采用光学离轴探测原理,调焦辅助光源直接采用半导体激光器(LD)的准直椭圆光束,探测器为二象限光电池

【作者】

：

梁宜勇白剑杨国光

【机构】

：

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

【出处】

：

光电子．激光

【发表日期】

：

2005年10期

【关键词】

：

激光图形发生器光学调焦离焦量动态特性 laser pattern generator optical focusing defocus amount dy

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为提高激光图形发生器的线条制作精度和制作效率,设计了新的调焦系统.调焦采用光学离轴探测原理,调焦辅助光源直接采用半导体激光器(LD)的准直椭圆光束,探测器为二象限光电池,离焦信号则采用除法构建.调焦系统具有过阻尼的二阶系统特征,新嵌入的PID控制器提升了系统的动态性能,并使系统闭环精度达0.2 μm离焦量,同时能产生预期的基于不同离焦量的变线宽图形.

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