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采用脉冲激光沉积法,在SrTiO3基片上,外延生长超导薄膜YBCO、半导体薄膜PB-CO和铁电体薄膜BaTiO3.利用X-射线衍射分析方法,研究了过程参量、基板温度、气体压力和激光通量等因素对膜的晶体结构和电子性能的影响.
钙钛矿型介质薄膜的制备及其晶体结构的研究
【摘 要】
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采用脉冲激光沉积法,在SrTiO3基片上,外延生长超导薄膜YBCO、半导体薄膜PB-CO和铁电体薄膜BaTiO3.利用X-射线衍射分析方法,研究了过程参量、基板温度、气体压力和激光通量等
【机 构】
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长春理工大学
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2003年4期
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