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本文报道用激光诱导表面化学反应沉积金属膜的一种新实验结果。用OWCO_02激光诱导硅片表面的Ni_2O_3与硅片衬底反应沉积镍膜,一步形成Ni-SiO_2-Si的准MOS结构。用多种表面分析方法对膜层的成份,性能进行测试分析,并讨论了膜的生长机制。
激光诱导硅表面化学反应形成Ni—SiO2—Si的准MOS结构膜
【摘 要】
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本文报道用激光诱导表面化学反应沉积金属膜的一种新实验结果。用OWCO_02激光诱导硅片表面的Ni_2O_3与硅片衬底反应沉积镍膜,一步形成Ni-SiO_2-Si的准MOS结构。用多种表面分
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1990年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目
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