【摘 要】
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硅微陀螺仪是微机电系统研究的一个重要内容，由于其体积小（达到微米级别），许多在传统陀螺仪中忽略掉的干扰条件要重新进行评估。其中，温度对其性能的影响很大。本文通过分析温度对
【机 构】
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哈尔滨工程大学自动化学院,中国航天科工集团第三研究院第三十三研究所
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硅微陀螺仪是微机电系统研究的一个重要内容，由于其体积小（达到微米级别），许多在传统陀螺仪中忽略掉的干扰条件要重新进行评估。其中，温度对其性能的影响很大。本文通过分析温度对梳状线振动陀螺仪的影响，推出了检测轴输出幅值和相位与温度的关系。提出一种利用输出相位作为温度补差的新方法，经温度实验验证了这种方法的可行性，此方法为提高微型梳状线振动陀螺仪的性能提供了一种新的途径。
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