【摘 要】
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<正> 中国科学院一○九厂是一个生产大型计算机和微型计算机中专用IC(集成电路)的工厂,其洁净厂房采用由日本、美国等引进的一条工艺生产线。一、概述平面分块图见图1。二、
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<正> 中国科学院一○九厂是一个生产大型计算机和微型计算机中专用IC(集成电路)的工厂,其洁净厂房采用由日本、美国等引进的一条工艺生产线。一、概述平面分块图见图1。二、洁净等级及空调参数的确定随着现代电子工业的迅速发展,IC的微细加工技术日趋精密与超微型化,发达国家被加工的最小图形尺寸(线条宽度)已达到2～3μ,有的甚至达到1μ,LSI(大规模集成电路)、VLSI(超大规模集成电
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