【摘 要】
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设计了一种新型的MEMS微型继电器,该继电器采用电磁驱动方式,继电器大小约为1.2 mm×1 mm×1 mm,驱动力大、体积小、便于集成。用ANSYS和MATLAB仿真分析各参数对微继
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学仪器与电子学院
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（61401405,51475438）, 山西省基础研究项目（2014011021-4）, 新世纪优秀人才支持计划资助项目（130951862）
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设计了一种新型的MEMS微型继电器,该继电器采用电磁驱动方式,继电器大小约为1.2 mm×1 mm×1 mm,驱动力大、体积小、便于集成。用ANSYS和MATLAB仿真分析各参数对微继电器性能的影响,对其进行优化分析和理论验证。该微型继电器能产生最大60 m N左右的驱动力,实现30μm的驱动行程,满足性能要求。运用UV-LIGA技术,完成工艺的流程设计。通过反复实验,提出了增强金属与基底的粘附性的有效方法。
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