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ｃ轴取的ＡｌＮ具有优异的压电性和声表面波传输特性，已受到人们日益广泛的重视。文章报道了采用ＫｒＦ脉冲准分子激光沉积工艺，在Ｓｉ（１００）衬底上成功地制备了ｃ轴取向的ＡｌＮ晶态薄膜。Ｘ射拇衍射与傅里叶变换红外光谱的结果表明，在３００℃－８００℃衬底温度下，薄膜均只有（００２）－一个衍射峰，但随着温度的升高，薄膜的结晶质量变好；