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为了加快科研成果向生产力的转化、更好地实现大学服务社会的功能,1993年,清华大学提出了创建清华科技园的构想,并得到教育部和北京市的确认和批准。1994年,清华科技园发展中心成立,正式开始建设科技园。1998年,12万平方米的起步区工程完工,主园区初具规模。1999年,清华科技园被纳入中关村科技园区的总体规划,予以重点发展支持。