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摘要：为满足高效连续自动化的工业化生产需求，对等离子体刻蚀机的预装腔进行设计改进，改进后的预装腔可实现≥2盘晶片的连续自动化刻蚀，提高了生产效率。
一种等离子体刻蚀机预装腔的设计
【摘 要】
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摘要：为满足高效连续自动化的工业化生产需求，对等离子体刻蚀机的预装腔进行设计改进，改进后的预装腔可实现≥2盘晶片的连续自动化刻蚀，提高了生产效率。
【机 构】
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天通吉成机器技术有限公司
【出 处】
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机械制造
【发表日期】
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2016年7期
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