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为了对微加速度计进行静电-机械耦合场分析,利用ANSYS软件及它的编程语言APDL实现了有限元耦合场分析.作为实例,选择一种尺寸的叉指式微加速度计,分析了它的灵敏度,其结果同理论值基本一致.
叉指式微加速度计的静电—机械耦合场分析
【摘 要】
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为了对微加速度计进行静电-机械耦合场分析,利用ANSYS软件及它的编程语言APDL实现了有限元耦合场分析.作为实例,选择一种尺寸的叉指式微加速度计,分析了它的灵敏度,其结果同
【机 构】
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中国工程物理研究院
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2002年5期
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