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温度监控装置在CVD金刚石膜沉积设备中的应用

来源 :河北省科学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：LVBIN0077

【作 者】

：

刘秀军  孙振路  吴晓波  王少岩  何奇宇  胡红彦  杨卫 

【出 处】

：

河北省科学院学报

【发表日期】

：

2008年03期

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