FT-IR法测量高纯四氯化硅中的微量三氯氢硅

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应用傅立叶交换红外光谱(FT-IR)技术和自制10cm光程的不锈钢液体池,建立了光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅的定量分析方法。该法具有安全、简便、灵敏和重复性好的特点。 The quantitative analysis method of trace trichlorosilane in silicon tetrachloride fiber was established by FT-IR and homemade 10cm optical path stainless steel liquid pool. The method is safe, simple, sensitive and repeatable.
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