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以ZnS、Mg粉末为原料，应用双源真空蒸镀法，在石英玻璃衬底上成功地制备了不同Mg含量x的三元固溶体半导体Zn1-xMgxS薄膜。根据薄膜的X射线能量色散谱、X射线衍射谱和紫外一可见吸收光谱，由Vegard定律得到在实验范围内不同Mg含量x的薄膜晶格常数。与x的关系可表达为a（x）=0．53965—0．01415x（nm）；薄膜的光学带隙Eg与x的关系可表达为Eg（x）=0．853x2＋0．086x＋3．662（eV）。