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分析了现有准分子激光打孔系统的优缺点，研究了对经过光波导的光束进行掩模打孔的一套加工系统。对光波导的制作进行了分析，并进行了一系列实验，文中给出了试验结果和分析。
利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究
【摘 要】
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分析了现有准分子激光打孔系统的优缺点，研究了对经过光波导的光束进行掩模打孔的一套加工系统。对光波导的制作进行了分析，并进行了一系列实验，文中给出了试验结果和分析。
【机 构】
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北京工业大学激光工程研究院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2006年3期
【基金项目】
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北京市教委重点项目（KM200310005016）,北京市自然基金重点项目（3031001）.
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