【摘 要】
：
设计了一种基于绝缘衬底上硅(SOI)片的面内振动压阻式加速度传感器,并针对其交叉灵敏度性能进行了研究,分析得出传感器的灵敏度与压阻微梁的轴向应力呈正比关系,并通过仿真说
【机 构】
：
北京东大国芯科技有限公司,北京,100095;西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所,西安,710049
论文部分内容阅读
设计了一种基于绝缘衬底上硅(SOI)片的面内振动压阻式加速度传感器,并针对其交叉灵敏度性能进行了研究,分析得出传感器的灵敏度与压阻微梁的轴向应力呈正比关系,并通过仿真说明该结构形式的加速度传感器具有非常低的交叉灵敏度,对检测方向的输出干扰非常小.进行了工艺加工和实验测试,实验结果表明,该面内振动的压阻式加速度传感器在20℃下,工作方向上的灵敏度为0.67 mV/g,而另外两个非工作方向(x轴和z轴)上的交叉灵敏度分别为7.3×10-4％和6.6×10-4％,对工作方向的加速度检测影响非常小,此结构的设计方法对于高性能的加速度传感器的研究具有重要的参考意义.
其他文献
模运算作为SM2椭圆曲线公钥密码算法的一种基本运算,其前提是除法运算,因此大数除法运算速率及硬件实现是影响公钥密码算法性能的一个关键因素。本文对大数除法进行了深入研究,提出了一种取位拼接将除法转换为减法的设计思想,并给出了该算法在SM2公钥密码算法协处理器中的硬件实现。
【摘 要】家庭是青少年成长的基础，而家庭因素也往往成为诱发青少年犯罪的根本原因。因此，正确把握好家庭因素对青少年的影响对其成长至关重要。本文旨在针对青少年成长中所隐藏危机，提出相应的对策，从而促进青少年的健康成长，维护家庭的和睦以及维持社会的和谐。 【关键词】青少年犯罪 家庭因素 对策 从古至今，家庭在人们的日常生活中都扮演着一个非常重要的角色，它既可以说是一个历史的范畴，也可以说是一个社会的
微电子机械系统(MEMS)陀螺仪输出易受环境温度的影响,产生温度漂移,测量精度降低,为解决这个问题,提出一种萤火虫算法(FA)优化BP神经网络的温度漂移补偿方法,在传统的BP神经
随着经济的发展,科技的进步,互联网也走进了千家万户。在这个信息大爆炸的时代,每天都有信息交换,也有无数的数据产生,在当今这个时代,互联网给我们带来了很多便利,随之而来的问题也不能忽视——安全问题。本文首先介绍了大数据,对大数据的安全问题进行阐述,接着提出了相应对的整改措施。
骨髓间充质干细胞(MSC)功能异常在再生障碍性贫血(AA)发病中起着重要作用,MSC移植治疗AA已成为研究热点.我们以前的研究证实,AA患者血清可促进正常小鼠骨髓多能造血干/祖细胞系32D细胞凋亡,同时AA患者血清可上调32D细胞Stat3蛋白磷酸化水平[1].但有关MSC对AA患者血清诱导32D细胞过度凋亡过程中的作用机制尚未明了.因此,我们以小鼠MSC联合AA患者血清处理32D细胞,并检测在此
目的 探讨氟尿嘧啶植入剂对H22肝癌移植瘤射频消融(RFA)后残留癌的作用及其机制.方法 采用H22肝癌小鼠移植瘤模型,建立RFA后残留癌模型.随机分为5组:不作任何处理(A组);单纯RFA处理(B组);RFA后残留癌内分别植入氟尿嘧啶植入剂2 mg(C组)、4 mg(D组)和6 mg(E组).RFA两周后取残留癌组织,免疫组织化学方法检测增殖细胞核抗原(PCNA)、血管内皮生长因子(VEGF)、
目的 观察三维培养条件下不同转移潜能人肝癌细胞株MHCC97-H/L形成血管生成拟态的差异,并探讨其血管生成相关机制.方法 建立MHCC97-H、MHCC97-L三维培养体系,倒置显微镜下观察24h血管样结构形成差异.应用血管生成基因芯片筛选三维培养24 h后两种细胞差异表达的基因,并用逆转录-聚合酶链反应(RT-PCR)和蛋白质印迹(Western blot)方法验证部分差异基因的表达.结果 三
目的 探讨血管紧张素转化酶2(ACE2)基因转染是否能通过使血管紧张素(Ans)Ⅱ转化为Ang1-7而抑制动脉硬化斑块的炎症反应.方法 克隆小鼠ACE2基因,并构建复制缺陷重组腺病毒质粒Ad-ACE2;用球囊损伤内皮细胞及高脂饲养建立兔动脉硬化模型,喂养3个月,将38只新西兰大白兔随机分为Ad-ACE2及Ad-EGFP两组,每组19只.Ad-ACE2组注射ACE2的腺病毒(2.5×109pfu/m