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本文介绍了半导体硅材料薄层方块电阻（Ω／□）的测试方法，及该方法在导电薄膜材料（ＩＴＯ膜）测试中的应用原理。同时提出了相应的测试条件。
半导体硅材料薄层方块电阻测定的标准方法在导电薄膜测试中的应用
【摘 要】
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本文介绍了半导体硅材料薄层方块电阻（Ω／□）的测试方法，及该方法在导电薄膜材料（ＩＴＯ膜）测试中的应用原理。同时提出了相应的测试条件。
【机 构】
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广州半导体材料研究所;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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1999年03期
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