【摘 要】
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研究不同气氛中退火的氧化铟镓薄膜晶体管电学性能随退火温度的变化,并采用霍尔效应测试分析氧化铟镓的载流子浓度(Nc)和迁移率(μH)的变化规律,探讨深层次原因。结果表明:退
【机 构】
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福建省光电技术与器件重点实验室,福建省高校光电技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金青年科学基金项目(61704142);福建省中青年教师教育科研项目(JAT160346);厦门市科技计划项目(3502Z20183060);福建省教育厅科技项目(JK2017036);福建省科技计划引导性项目(2018H0038);莆田学院现代精密测量与激光无损检测福建省高校重点实验室开放课题(2016XKA004);厦门理工学院高层次人才项目(YKJ15035R)
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研究不同气氛中退火的氧化铟镓薄膜晶体管电学性能随退火温度的变化,并采用霍尔效应测试分析氧化铟镓的载流子浓度(Nc)和迁移率(μH)的变化规律,探讨深层次原因。结果表明:退火处理后器件的饱和区场效应迁移率μsat由1.0 cm2·(V·s)-1升高至最高12.0 cm2·(V·s)-1,亚阈值摆幅由0.58 V·dec-1(dec代表10倍频程)降至最低0.19 V·dec-1,迟滞现象减弱,但阈值电压(Vth)负向漂移甚至导致器件无法关断;高氧气
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