刀具几何参数光学测量系统设计与分析

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设计了一套用于刀具几何参数精密测量的光学检测系统.该系统利用物方远心光路、柯勒照明等手段对刀具检测仪器中的传统光学成像方式进行了改进,保证了被测刀具成像精度.通过光学计算和误差分析,系统测量误差小于±1.4μm.将该套装置应用到刀具几何参数的测量仪器中,实验测试数据表明仪器的测量精度达到士2μm.
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