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随着硅芯片极限的逐渐逼近,这几年人们也越来越担心摩尔定律是否会最终失效,因为一旦半导体行业停滞不前,对于IT业界来说同样会产生极大的影响,所以全球都关心半导体工艺的进展方向。
浅谈硅芯片工艺的极限以及发展方向
【摘 要】
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随着硅芯片极限的逐渐逼近,这几年人们也越来越担心摩尔定律是否会最终失效,因为一旦半导体行业停滞不前,对于IT业界来说同样会产生极大的影响,所以全球都关心半导体工艺的进
【机 构】
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济南大学,天津大学,大连理工大学
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2016年12期
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