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多晶硅生产方法中，改良西门子法由于安全性好、沉积速率高、纯度较高等优点，成为目前应用最广泛的工艺。其中SiCl4氢化制备SiHCl4工艺，是其中一项关键技术，也是多晶硅生产中耗能较多的工序。在国家提倡节能降耗、生态环保的背景下，如何提高SiCl4氢化转化率，提高产量和质量，降低能耗，意义重大。本文针对这个问题，对目前的各种氢化技术进行了对比研究，发现催化氢化中的氯氢化技术节能降耗最显著，综合指标好，是有前景的氢化技术。