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对全自动光刻机的对准系统进行了分析与研究,探讨了整体机械结构、光学结构、安装时的步骤和要求,以及XY平台的静态特性分析。
全自动光刻机对准系统的设计与研究
【摘 要】
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对全自动光刻机的对准系统进行了分析与研究,探讨了整体机械结构、光学结构、安装时的步骤和要求,以及XY平台的静态特性分析。
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2017年04期
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